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半導體設備末端執(zhí)行器
半導體設備末端執(zhí)行器是半導體制造設備中直接與晶圓(或其他半導體元件)接觸并執(zhí)行特定操作的關鍵部件,位于機械臂或運動機構的末端,其功能類似于人類的 “手”,負責完成晶圓的搬運、定位、加工輔助等任務。它的設計精度、可靠性和潔凈度直接影響半導體器件的良率和生產效率。
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